Análise por meio de espectroscopia de emissão óptica das espécies ativas em nitretação iônica e gaiola catódica
AUTOR(ES)
Júlio César Pereira Barbosa
DATA DE PUBLICAÇÃO
2007
RESUMO
Processos a plasma como nitretação iônica e nitrtetação por gaiola catódica são utilizados para endurecimento de superfícies de aços. A nitretação iônica sendo já consolidada em aplicações industriais enquanto que o processo por gaiola catódica ainda se encontra em estágio de pesquisa. Esses processos dependem dos parâmetros de plasma como temperatura eletrônica e de íons (Te, Ti), densidade de espécies (ne, ni,) e da função de distribuição das mesmas. No presente trabalho, o plasma utilizado para esses dois processos foi diagnosticado utilizando a técnica de Espectroscopia de Emissão Óptica EEO para identificar as espécies presentes no ambiente de tratamento e quantifica-las relativamente. Assim, plasma de mistura gasosa típica como N2 H2 foi monitorado, com o intuito de estudar a evolução dessas espécies durante o processo. Além disso, foi realizado um estudo sistemático, também através de EEO, que acompanha a evolução das espécies contaminantes surgidas em vazamentos de modo a buscar condições onde as mesmas são suficientemente reduzidas. Finalmente busca-se, através do diagnóstico de plasma por EEO, descrever o mecanismo físico de atuação das duas técnicas de tratamento: nitretação iônica e gaiola catódica
ASSUNTO(S)
nitriding plasma nitretação espectroscopia de emissão óptica gaiola catódica ciencias exatas e da terra optical emission spectroscopy cathodic cage plasma
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