Aplicação do modo de nanolitografia de um microscópio de força atômica para a estruturação de superfícies
AUTOR(ES)
Willian Hasenkamp Carreira
FONTE
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia
DATA DE PUBLICAÇÃO
2007
RESUMO
Neste trabalho, estudamos o processo de nanoestruturação de superfícies por microscopia de força atômica. O processo de indução mecânica de deformações foi abordado sob o enfoque de duas técnicas: a aragem dinâmica e a aragem estática. Essas técnicas foram aplicadas para nanoestruturar diferentes materiais (polímeros e metais). Investigamos a influência dos parâmetros de controle (pausa e setpoint) na criação dos padrões. A influência de fatores como o formato e desgaste da sonda, a reprodutibilidade do processo e outros efeitos instrumentais foram concomitantemente analisados. Verificamos que o processo de aragem dinâmica tem um melhor desempenho durante processos de SPL, pois os parâmetros de controle podem ser modificados de maneira simplificada. Além disso, o emprego deste método evita problemas de torção da haste que produzem irregularidades nos padrões. Outro fator verificado foi que o diâmetro das bordas pode ser diminuído com a utilização de filmes mais finos (menores que 10nm). A aplicação dos padrões formados em processos de nanolitografia, como a transferência de padrões para outros substratos foi demonstrada por deposição física de vapor e ataques químicos.
ASSUNTO(S)
ciência dos materiais efeitos de feixe iônico estrutura de superficie nanoestruturas litografia microscopia de força atômica
ACESSO AO ARTIGO
http://hdl.handle.net/10183/53120Documentos Relacionados
- Nanolitografia do silício utilizando o microscópio de força atômica
- Coleta de material de cromossomos utilizando microscópio de força atômica.
- Uso de microscopia de força atômica para visualização de bacteriófagos filamentosos.
- Desenvolvimento de um microscópio confocal de varredura laser para caracterização topográfica de superfícies
- Análise de Minerais do Solo por Espectroscopia de Força Atômica.