Estudo de vidros utilizados para isolaÃÃo elÃtrica em substrato de silÃcio.

AUTOR(ES)
DATA DE PUBLICAÇÃO

2004

RESUMO

Os vidros utilizados para isolaÃÃo de semicondutores possuem em sua composiÃÃo concentraÃÃes elevadas de Ãxido de chumbo. Ele à usado para abaixar a temperatura de fusÃo, diminuir a viscosidade do fundido, diminuir a tensÃo superficial, resultando numa superfÃcie homogÃnea e brilhante. Possui alta resistividade elÃtrica. Outra importante propriedade dos vidros de chumbo à o coeficiente de dilataÃÃo tÃrmica que se aproxima do coeficiente de dilataÃÃo da lÃmina de silÃcio, tornando-se ideal a sua aplicaÃÃo em semi-condutores. A busca por tecnologias mais limpas tem levado muitos pesquisadores à alternativas para reduÃÃo ou eliminaÃÃo de produtos potencialmente tÃxicos, entre eles, o Ãxido de chumbo. Neste trabalho procurou-se uma alternativa ao uso do Ãxido de chumbo para aplicaÃÃo na isolaÃÃo de semi-condutores atravÃs de vidros do sistema Zn-B-Si. Os vidros A e B, à base de zinco (Zn-B-Si), foram preparados a partir da mistura de pÃs de Ãxidos e produzidos à partir da fusÃo em um forno elÃtrico seguido de um resfriamento rÃpido. Estes vidros foram moÃdos e analisados pelas tÃcnicas de difraÃÃo de raios-X, difraÃÃo à laser, microscopia eletrÃnica de varredura, microscopia Ãptica e mediÃÃes elÃtricas. Avaliou-se os mecanismos de refusÃo dos vidros de chumbo e de zinco sobre as lÃminas de silÃcio e em seguida determinou-se tensÃo de ruptura elÃtrica nas lÃminas de silÃcio. Nos testes de tensÃo de ruptura elÃtrica, o vidro de chumbo apresenta valores superiores aos vidros à base de zinco. Os valores de tensÃo de ruptura elÃtrica do vidro B foram inferiores ao vidro A devido a uma maior quantidade de microbolhas presentes na interface vidro-silÃcio.

ASSUNTO(S)

chumbo (metal) ensaios de materiais isolamento elÃtrico vidro silÃcio propriedades mecÃnicas zinco semicondutores a Ãxido metÃlico

ACESSO AO ARTIGO

Documentos Relacionados