Influência da limpeza prévia por sputtering na nitretação por plasma de aços inoxidáveis

AUTOR(ES)
FONTE

Matéria (Rio de Janeiro)

DATA DE PUBLICAÇÃO

2011

RESUMO

Corpos de prova de aço inoxidável ISO 5832-1 foram nitretados por 2 h em uma atmosfera de 50% vol. N2 e 50% vol. H2, a uma temperatura de 420 ºC. Antes da nitretação as amostras passaram por um processo de limpeza por sputtering, no próprio reator, com utilização de diferentes parâmetros. Utilizaram-se as seguintes técnicas de análise: microscopia ótica (MO) e microdureza Vickers. Os resultados evidenciaram que o emprego de uma etapa de limpeza por sputtering, anterior ao processamento, pode promover alterações significativas nos resultados obtidos na nitretação por plasma. Verificou-se ainda que o emprego de hidrogênio como agente de sputtering não causa nenhuma alteração nos resultados, quando comparados a um processamento realizado sem essa etapa de limpeza.

ASSUNTO(S)

nitretação por plasma sputtering aços inoxidáveis

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