Platinum Silicide Films
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1. FORMATION AND PROPERTIES OF NANOMETER-THICK PLATINUM SILICIDE LAYERS
Os filmes finos de siliceto de platina são largamente usados em dispositivos de silício como contatos ôhmico e Schottky. Têm-se demonstrado recentemente que barreiras Schottky empregando filmes ultra-finos de siliceto de platina (espessura <10 nm) podem ser usados em fotodetecção no infravermelho próximo. Neste trabalho foi estudada a formação de fi
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 1996