Processos De Microfabricacao
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1. Desenvolvimento de uma microbomba de membrana com atuação magnética / Development of diaphragm micropump with magnetic actuation
Este trabalho teve como objetivo o desenvolvimento de uma microbomba de membrana acionada eletromagneticamente, tornando possível sua utilização futura em dispositivos que reúnam de maneira eficiente diversos processos microfluídicos. Para atingir este objetivo foi necessário o desenvolvimento do atuador, composto de uma membrana flexível e uma microb
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 26/07/2011
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2. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares. / Development of a atomistic microfabrication simulation software based on celullar automata.
O presente trabalho teve como foco o desenvolvimento de um software para a simulação de processos de microfabricação em substrato e de microfabricação em superfície baseado em autômatos celulares, o simMEMS. Além disso, visando a futura incorporação de ferramentas para análise das estruturas geradas pelo programa, um módulo com funcionalidades b
IBICT - Instituto Brasileiro de Informação em Ciência e Tecnologia. Publicado em: 30/05/2011
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3. Investigação de aspectos topológicos de componentes e dispositivos microfabricados em silício
Este trabalho teve como principal objetivo investigar a rugosidade na superficie de laminas de silicio submetidas a corrosao com KOH, e em estruturas e componentes micro-opticos produzidos utilizando-se a tecnica de formacao de calotas esfericas por corrosao anisotropica de silicio com KOH. O desempenho e a confiabilidade de dispositivos e componentes microf
Publicado em: 2010
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4. Absorção de multi-fótons em polímeros e resinas poliméricas: espectroscopia não linear e microfabricação / Multi-photon absorption in polymers and polymeric resins: nonlinear spectroscopy and microfabrication
Nesta tese, estudamos o processo de absorção multifotônica em polímeros e resinas poliméricas, abordando tanto aspectos fundamentais quanto aplicados. Com relação aos aspectos fundamentais, estudamos processos de absorção multifotônica (absorção de dois, três e quatro fótons) no polímero conjugado MEH-PPV (poly(2-methoxy-5-(2´-ethylhexyloxy)-
Publicado em: 2009
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5. Desenvolvimento de guias de onda canal escrita com laser de fentossegundos para aplicação em amplificação ótica
Nesta dissertação apresentaremos os resultados obtidos no desenvolvimento e caracterização de guias de onda canal para amplificação óptica. As guias foram fabricadas usando pulsos de laser com ~80 fs de duração, em amostras de vidro fosfato dopado com Er3+-Yb3+, e em vidros de telureto dopado com Er3+, óxido de prata e sem dopagem. Este é um méto
Publicado em: 2009
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6. Estudo e caracterização de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos por PECVD visando sua aplicação em MEMS e dispositivos ópticos. / Study and characterization of a-Si1-xCx:H thin films produced by PECVD aiming applications in mems and optical devices.
Neste trabalho foi desenvolvido um estudo sistemático das propriedades estruturais, mecânicas e ópticas de filmes de carbeto de silício amorfo hidrogenado (a-Si1-xCx:H) produzidos pela técnica de deposição química a vapor assistida por plasma (PECVD) a baixas temperaturas (320°C), utilizando silana (SiH4) e metano (CH4) como gases precursores do sil
Publicado em: 2008
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7. Estudo teórico-experimental do efeito da flexão da ferramenta no processo de microfresamento / Theorical and experimental study on tool deflection effect in micromilling process
The tool deflection, in end milling operations, is responsible to intervene negatively on the workpiece surface quality and can also cause a premature tool failure (breakage).The present work aims at studying experimentally the effects of tool deflection when end milling with 0,8 mm diameter in microoperations. The experimental tests had intended to identify
Publicado em: 2008
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8. Sistemas de microcanais em vidro para aplicações em microfluidica. / Glass microchannels systems for microfluidic applications.
Neste trabalho são apresentados resultados relativos ao desenvolvimento de um processo de fabricação para a produção de sistemas de microcanais em vidro tipo borosilicato, 7059 Corning Glass. O objetivo do trabalho é implementar um processo básico, mas completo, de fabricação de sistemas microfluídicos em vidro, que possam futuramente ser aprimorad
Publicado em: 2008
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9. WTprocess : uma ferramenta para ensino de microfabricação
ormado.
Publicado em: 2003
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10. Corrosão por plasma para tecnologias CMOS e microssistemas
Esta tese apresenta os resultados do desenvolvimento e da otimização de uma tecnologia própria na área de fabricação de dispositivos CMOS e Microssistemas, realizados no Centro de Componentes Semicondutores da UNICAMP, pretendendo desenvolver processos em uma das técnicas mais críticas da microfabricação: corrosão de materiais por plasmas. Neste t
Publicado em: 2003