Siliceto De Niquel
Mostrando 1-2 de 2 artigos, teses e dissertações.
-
1. Fabricação de canaletas em substratos de silício para acoplamento fibra-guia utilizando siliceto de níquel como material de máscara. / Fabrication of V-grooves on silicon substrates for fibre-guide coupling using nickel silicide as mask material.
Neste trabalho, apresentamos um novo processo de fabricação para a obtenção de canaletas em V em substratos de silício monocristalino (100) para um acoplamento óptico utilizando siliceto de níquel como material de máscara. O filme de siliceto de níquel (10nm de espessura para 200 nm de nickel) foi obtido por processos de evaporação térmica e post
Publicado em: 2007
-
2. Caracterização elétrica de contatos rasos de siliceto de níquel sobre junções N+P. / Electrical characterization of nickel-silicide shallow contacts on N+P junctions.
This work presents the fabrication and electrical characterization of Al/Ti/Ni(Pt)Si contacts having the nickel monosilicide formed from Ni(30nm)/Pt(1.5nm)/Si structure on shallow N+P junctions with about 0.2 ìm of depth. The diodes? electrical behavior achieved at the best process was considered good, with the following average and standard deviations: are
Publicado em: 2006